【摘 要】
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用高分辨的三晶体X-射线衍射仪测量了Zr、Cu金属交替的多层膜的X-射线小角反射谱.用扩展了的Born-Wolf光学模型对Zr、Cu多层膜的X-射线小角反射数据进行了定量分析.结果表明,
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用高分辨的三晶体X-射线衍射仪测量了Zr、Cu金属交替的多层膜的X-射线小角反射谱.用扩展了的Born-Wolf光学模型对Zr、Cu多层膜的X-射线小角反射数据进行了定量分析.结果表明,该金属多层膜在其生长方向具有超晶格结构.在两层金属膜之间的界面上,由于内扩散,形成了界面交混层,它使X-射线小角反射所产生的高阶Bragg峰的强度减弱.由于两种金属膜的晶格不匹配,使高阶Bragg峰加宽.界面的粗糙度可用来模拟X-射线小角反射曲线的阻尼振荡效应.
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