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3月22日，Entegris携其晶片和光罩处理产品参加了在上海举行的SEMICON China 2006展览会。Entegris展示的4种产品分别是300mmFOSB（前开口传输盒）、Spectra FOUP（前开口一体盒）和SMP625单光罩包装盒以及高级光罩SMIF盒。
Entegris展示晶片和光罩客户解决方案
【摘 要】
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3月22日，Entegris携其晶片和光罩处理产品参加了在上海举行的SEMICON China 2006展览会。Entegris展示的4种产品分别是300mmFOSB（前开口传输盒）、Spectra FOUP（前开口一体盒）和SMP
【出 处】
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电子产品世界
【发表日期】
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2006年05S期
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