【摘 要】
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该文论述了超导红外／毫米波多功能传感器的原理以及我们利用ＹＢａＣｕＯ超导薄膜制备该传感器的实验结果。器件对８─１４μｍ红外辐射的比探测度Ｄ达１．５×１０９ＣｍＨｚ，响应率为３．８×１０３Ｖ／Ｗ；对８ｍｍ波．其等效噪声功率为６．９×１０（－１０）ＷＨｚ（－１）．响应率为４０６Ｖ／Ｗ。
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该文论述了超导红外／毫米波多功能传感器的原理以及我们利用ＹＢａＣｕＯ超导薄膜制备该传感器的实验结果。器件对８─１４μｍ红外辐射的比探测度Ｄ达１．５×１０９ＣｍＨｚ，响应率为３．８×１０３Ｖ／Ｗ；对８ｍｍ波．其等效噪声功率为６．９×１０（－１０）ＷＨｚ（－１）．响应率为４０６Ｖ／Ｗ。此外，观察了器件对８ｍｍ波响应信号与偏置电流，调制频率及辐射功率的关系。
This paper discusses the principle of superconducting infrared / millimeter-wave multi-function sensor and the experimental results of using YBaCuO superconducting thin film to fabricate the sensor. The detection ratio D of the device to 8 - 14μm infrared radiation is 1.5 × 109CmHz, the response rate is 3.8 × 103V / W; for 8mm wave. Its equivalent noise power is 6.9 × 10 (-10) WHz (-1). The response rate is 406V / W. In addition, the response of the device to the 8mm wave was observed as a function of bias current, modulation frequency and radiated power.
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