1 N聚合物微环谐振器电光开关阵列特性研究

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利用耦合模理论、电光调制理论和微环谐振理论,提出了一个完善合理的聚合物微环谐振器电光开关阵列模型。该器件由1条水平信道、N条竖直信道和N个微环构成,在微环上施加不同方式的驱动电压,可以实现条信道的开关功能。以1×8信道结构为例,在1550 nm谐振波长下对该器件进行了优化设计和分析模拟。结果为:微环波导芯的截面尺寸为1.7×1.7μm2,波导芯与电极间的缓冲层厚度为2.5μm,电极厚度为0.2μm,微环半径为13.73μm,微环与信道间的耦合间距为0.14μm,输出光谱的3-dB带宽约为0.05 nm,开关电压约为12.3 V,插入损耗约为0.66~1.24 dB,串扰约为-20 dB。
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