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简要介绍了TiSiN纳米复合涂层的晶体结构，主要从涂层的性能、制备方法、硅含量以及其它元素掺杂的影响等方面综述了TiSiN纳米复合涂层的研究进展，最后对其存在的主要问题和今后的发展方向进行了总结和展望。
TiSiN纳米复合结构涂层的研究进展
【摘 要】
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简要介绍了TiSiN纳米复合涂层的晶体结构，主要从涂层的性能、制备方法、硅含量以及其它元素掺杂的影响等方面综述了TiSiN纳米复合涂层的研究进展，最后对其存在的主要问题和今后
【机 构】
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上海理工大学机械工程学院,上海理工大学材料科学与工程学院
【出 处】
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机械工程材料
【发表日期】
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2013年6期
【基金项目】
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上海市自然科学基金资助项目（11ZR1424600）,上海市教委重点学科项目（J50503）
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