【摘 要】
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运用器件模拟软件模拟了pn结6H-SiC紫外光探测器的光响应灵敏度特性.讨论了不同掺杂浓度、不同器件结深对响应灵敏度的影响.对于p+n结器件,当受光面为p+层,且厚度约为0.2pm、
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运用器件模拟软件模拟了pn结6H-SiC紫外光探测器的光响应灵敏度特性.讨论了不同掺杂浓度、不同器件结深对响应灵敏度的影响.对于p+n结器件,当受光面为p+层,且厚度约为0.2pm、浓度约为9×1018cm-3、n层浓度约为1×1016 cm-3时,器件有较大的响应灵敏度,R=167.2mA/W;当受光面为n+层,且厚度约为0.2μm、浓度约为9×1018cm-3、p层浓度约为1×1016cm-3时,器件有较大的响应灵敏度,R=183.5mA/W.通过比较可知,模型能较好地反应实际情况,与实验数据符合较好.
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