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根据材料的厚度对金属-半导体间的欧姆接触电阻率的测量方法做了分类,并分别介绍了各种方法的原理。分析了它们的误差形成原因以及对结果的影响,比较了它们的优劣,探讨了在不同情况下最合适的办法。
欧姆接触电阻率测量方法的比较研究
【摘 要】
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根据材料的厚度对金属-半导体间的欧姆接触电阻率的测量方法做了分类,并分别介绍了各种方法的原理。分析了它们的误差形成原因以及对结果的影响,比较了它们的优劣,探讨了在不
【机 构】
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重庆邮电大学,中国电子科技集团公司,中国电子科技集团公司
【出 处】
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重庆邮电学院学报(自然科学版)
【发表日期】
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2006年S1期
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