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期刊论文
欧姆接触电阻率测量方法的比较研究
欧姆接触电阻率测量方法的比较研究
来源 :重庆邮电学院学报(自然科学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户:zhouqjj
【摘 要】
:
根据材料的厚度对金属-半导体间的欧姆接触电阻率的测量方法做了分类,并分别介绍了各种方法的原理。分析了它们的误差形成原因以及对结果的影响,比较了它们的优劣,探讨了在不
【作 者】
:
赵安邦
谭开洲
吴国增
【机 构】
:
重庆邮电大学,中国电子科技集团公司,中国电子科技集团公司
【出 处】
:
重庆邮电学院学报(自然科学版)
【发表日期】
:
2006年S1期
【关键词】
:
金属-半导体
欧姆接触
接触电阻率
传输线模型法
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根据材料的厚度对金属-半导体间的欧姆接触电阻率的测量方法做了分类,并分别介绍了各种方法的原理。分析了它们的误差形成原因以及对结果的影响,比较了它们的优劣,探讨了在不同情况下最合适的办法。
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