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静电力显微镜的横向分辨率也达到纳米极

来源 :电子材料快报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：tnnd_5460

【作 者】

：

郝建民 

【出 处】

：

电子材料快报

【发表日期】

：

1998年6期

【关键词】

：

静电力显微镜 横向分辨率 纳米级 

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