一种新型的在线式微波功率传感器

来源 :半导体学报 | 被引量 : 8次 | 上传用户：beichen35

【摘要】

：

提出了一种基于MEMS技术的在线式微波功率传感器结构,并对该结构进行了理论分析、设计、制作和测量.该结构通过测量由MEMS膜耦合出的一小部分微波功率实现功率的测量.该结构制作工艺与GaAs MMIC工艺完全兼容.测量结果显示,在12GHz频率以内,微波功率传感器的反射系数小于-15dB,插入损耗小于2dB,在10GHz中心频率下的灵敏度为10.4μV/mW.

【作者】

：

韩磊黄庆安廖小平

【机构】

：

东南大学MEMS教育部重点实验室

【出处】

：

半导体学报

【发表日期】

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2007年07期

【关键词】

：

微波功率功率传感器在线式 MEMS GAAS MMIC工艺 microwave power power sensor inline type MEMS

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