MMIC工艺相关论文
射频微系统（RF MEMS）是指MEMS技术在RF及微波通信领域的应用。伴随着微波技术的发展，RF MEMS被广泛应用于发射机天线，前端接收装置，谐振......
随着MEMS技术的不断发展，RF MEMS器件的研究成为行业研究的热点和行业发展的关键。由于其性能的优越性，促使RF MEMS的应用范围越来越......
在微波技术领域中，微波相位是表征微波信号的一个重要参数。随着相控阵雷达、锁相环、天线、测相仪等系统的发展，微波相位检测系统的......
提出了一种基于MEMS技术的在线式微波功率传感器结构,并对该结构进行了理论分析、设计、制作和测量.该结构通过测量由MEMS膜耦合出......
