【摘 要】
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1 前 言光切显微镜是精密的计量仪器 ,可测量Ｒ0 .8～10 0 μｍ的粗糙度。它所用光切法原理 ,就是利用一狭窄的扁平光束以一定的倾斜度投射到被测表面上 ,光束在被测表面上发生反
【机 构】
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中国计量学院计量技术工程学院,中国计量学院计量技术工程学院 110200,110200
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1 前 言光切显微镜是精密的计量仪器 ,可测量Ｒ0 .8～10 0 μｍ的粗糙度。它所用光切法原理 ,就是利用一狭窄的扁平光束以一定的倾斜度投射到被测表面上 ,光束在被测表面上发生反射出来的表面微观不平度 ,在光束方向上用显微镜来观测。在仪器测量前 ,应先用标准尺对仪器进行
1 Introduction Light-cutting microscope is a precision measuring instrument that can measure R0. 8 ~ 100μm roughness. It uses the principle of light cutting, is the use of a narrow flat light beam with a certain inclination projected onto the surface to be measured, the light beam reflected in the measured surface microscopic roughness, observed in the beam direction with a microscope. Before measuring the instrument, the instrument should be calibrated with a standard ruler
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