【摘 要】
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多层金属薄膜的机械性质在纳米组件的设计上是非常重要的.目前,纳米尺度材料的机械性质测量的最主要方法为纳米压痕检测技术.本文应用分子动力学理论对双层铜金属薄膜界面的
【机 构】
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空军航空技术学院飞机工程学系,中山大学机械与机电工程学系纳米科技与科学中心,
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多层金属薄膜的机械性质在纳米组件的设计上是非常重要的.目前,纳米尺度材料的机械性质测量的最主要方法为纳米压痕检测技术.本文应用分子动力学理论对双层铜金属薄膜界面的结构形态与特性进行分析探讨.选用FCC结构单晶铜的(100)面,(110)面和双层铜金属薄膜作为探讨界面性质的材料,进而探讨了单晶铜及双层铜金属薄膜的纳米压痕变形性质.
The mechanical properties of multilayered metal thin films are very important in the design of nanostructures.At present, the most important method for measuring the mechanical properties of nanoscale materials is the nanoindentation technique.In this paper, (100) face, (110) face and double copper metal film of FCC single crystal copper were selected as the material to study the interface properties, and then the effects of single crystal copper and double layer copper metal Nanoindentation Deformation Properties of Thin Films.
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