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含硅氮氧化物是一类重要的结构／功能一体化材料，在耐磨耐蚀、高速切削、压力密封、发光基质和碱性催化等领域有重要应用。含硅氮氧化物制备技术经历了高温固相反应法、自蔓延高温合成法、碳热还原氮化法、湿化学合成结合碳热还原氮化法等演变，呈现持续发展的态势。本文综述了作者研究团队十余年在低温活化合成含硅氮氧化物粉体及纤维的研究进展，重点介绍基于介孔模板组装的微纳尺度碳热还原氮化法以及SiC还原辅助溶胶一凝胶氮化法制备含硅氮氧化物，并展望了低温活化合成含硅氮氧化物材料的发展方向和应用前景。