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对一种硅谐振式压力微传感器敏结构的边界结构参数进行了优化设计。所讨的敏感结构以方形硅膜片作一次敏感元件，直接感受被测压力。在膜片的上表面制作浅槽和硅梁，以硅梁作为二次敏感元件，间接感受被测量压力。
硅谐振梁式压力微传感器边界结构参数优化
【摘 要】
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对一种硅谐振式压力微传感器敏结构的边界结构参数进行了优化设计。所讨的敏感结构以方形硅膜片作一次敏感元件，直接感受被测压力。在膜片的上表面制作浅槽和硅梁，以硅梁作为二
【机 构】
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北京航空航天大学302教研室
【出 处】
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航空学报
【发表日期】
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1999年4期
【基金项目】
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航空科学基金
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