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硅谐振梁式相关论文
硅谐振梁式压力微传感器边界结构参数优化
对一种硅谐振式压力微传感器敏结构的边界结构参数进行了优化设计。所讨的敏感结构以方形硅膜片作一次敏感元件,直接感受被测压力。......
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硅谐振梁式
microsensor structural optimization energy coupling
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