论文部分内容阅读
利用TCAD半导体器件仿真软件详细地分析了前表面场(FSF)表面浓度及扩散深度对N型插指背接触(IBC)太阳电池电学性能的影响。分析和评价了在不同的前表面复合速率(FSRV)、发射区覆盖比例(FE)及衬底电阻率(ρ)情况下,用FSF结构改善IBC太阳电池电学性能的效果,并给出了在各种情况下优化的FSF结构参数。仿真结果表明:IBC太阳电池FSF结构具有改善电池电学性能的作用。在不同的前表面复合速率、发射区覆盖比例及衬底电阻率情况下,前表面场结构对IBC太阳电池电学性能的改善效果不同。在较高的前表面复合速率