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本文利用扫描电子显微镜和原子力显微镜研究了Ｓｉ（１００）衬底上热灯丝金刚石膜成核过程。
负衬底偏压热灯丝CVD金刚石膜成核的研究
【摘 要】
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本文利用扫描电子显微镜和原子力显微镜研究了Ｓｉ（１００）衬底上热灯丝金刚石膜成核过程。
【机 构】
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重庆大学应用物理系
【出 处】
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人工晶体学报
【发表日期】
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1999年1期
【基金项目】
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国家自然科学基金
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