热灯丝CVD相关论文
本文对热灯丝 CVD沉积金刚石膜的核化过程进行了分析 ,从理论上研究了负衬底偏压增强活性离子的流量 .
In this paper, the nucle......
利用扫描电子显微镜研究了热灯丝 CVD系统负衬底偏压增强金刚石核化的过程 ,给出了实验结果 .着重分析了负衬底偏压增强金刚石核化......
对衬底负偏压热灯丝 Ｃ Ｖ Ｄ 金刚石膜核化过程进行了研究。利用原子力显微镜和扫描电子显微镜观察和分析结果表明，在衬底负偏压下正离子......
本文利用扫描电子显微镜和原子力显微镜研究了Ｓｉ（１００）衬底上热灯丝金刚石膜成核过程。在－２４０Ｖ和２５０ｍＡ下，在镜面抛光的Ｓｉ（１００）衬底上金刚石最大成核密度超过了......
研究了碳纳米管膜形变诱导电阻的变化.所用的碳纳米管是用热灯丝化学气相沉积法合成的.实验表明碳纳米管膜具有显著的形变诱导电阻......
由于碳纳米管具有独特的结构和性能,因而自从被发现以来一直受到人们的关注.近年来,已利用各种方法成功地合成出碳纳米管,特别是利......
本文对热灯丝ＣＶＤ沉积金刚石膜的核化过程进行了分析，从理论上研究了负衬底偏压增强活性离子的流量。......
利用负衬底偏压增强热灯丝化学气相沉积系统制备了碳纳米管.用扫描电子显微镜研究了碳纳米管的生长,结果表明碳纳米管的生长随着负......
主要介绍硼掺杂金刚石膜的生长.采用热灯丝CVD法在硅上制备金刚石薄膜,采用三氧化二硼制备硼掺杂金刚石膜.利用拉曼光谱分析硼掺杂......
利用扫描电子显微镜镜研究了热灯丝ＣＶＤ系统负衬底偏压增强金刚石核化的过程，给出了实验结果。着重分析了负衬底偏压增强金刚石核化的机......
对衬底负偏压热灯丝ＣＶＤ金刚石膜核化过程进行了研究。利用原子力显微和扫描电子显微镜观察和分析结果表明，在衬底负偏压下正离子对Ｓｉ衬底......
研究了碳纳米管膜形变诱导电阻的变化.所用的碳纳米管是用热灯丝化学气相沉积法合成的.实验表明碳纳米管膜具有显著的形变诱导电阻......
本文利用扫描电子显微镜和原子力显微镜研究了Ｓｉ（１００）衬底上热灯丝金刚石膜成核过程。......
本文利用发射电子法经由热灯丝ＣＶＤ在Ｓｉ（１００）上获得了局域异质外延金刚石膜。由Ｒａｍａｎ背散射强度（在１３３２ｃｍ＾－１处）旋转角依赖关系表明，金刚石膜与Ｓｉ（１００）的定向关系为ｄｉａ（１００）∥Ｓｉ（１００）和......
采用热灯丝CVD、分次连续沉积的办法在硅衬底上制备金刚石膜.用RAMAN光谱、X ray衍射、扫描电子显微镜(SEM)等多种技术对金刚石膜......
由于碳纳米管具有独特的结构和性能 ,因而自从被发现以来一直受到人们的关注。近年来 ,已利用各种方法成功地合成出碳纳米管 ,特别......
