加热线圈内径计算公式的应用——改善区熔硅单晶径向电阻率不均匀性的工艺探讨之三

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本文叙述了加热线圈内径计算公式的实际应用及与三相适应的晶体生长工艺。 This paper describes the practical application of the calculation formula of the heating coil inner diameter and the crystal growth process which adapts to three phases.
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