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Experimental Study on Wax Protective Coating for Wet Deep Silicon Etching Processes
【机 构】
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SchoolofInformationScienceandTechnology,FachgebietSensorik
【出 处】
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Journal of Beijing Institute of Technology(English Edition)
【发表日期】
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2006年3期
【基金项目】
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AcknowledgmentsThis research is partially funded by Chinese Scholarship Council, PR. China. The authors would like to acknowledge the members of Institute of Sensor Technology, University of Paderbom,
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