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栅型共振隧穿晶体管的设计与研制
栅型共振隧穿晶体管的设计与研制
来源 :半导体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:just1015
【摘 要】
:
在研制RTD经验的基础上设计并研制成功栅型GaAs基共振隧穿晶体管(GRTT).文中对该器件的材料结构设计、器件结构设计、光刻版图设计、器件制作、参数测量与分析等进行了系统的描
【作 者】
:
郭维廉
梁惠来
宋瑞良
张世林
毛陆虹
胡留长
李建恒
齐海
【机 构】
:
天津大学电子信息工程学院,中国电子科技集团第十三研究所
【出 处】
:
半导体学报
【发表日期】
:
2006年11期
【关键词】
:
共振隧穿晶体管
栅控型器件
GaAs基量子器件
RTT
gate controlled device
GaAs based quantum device
【基金项目】
:
超高速专用集成电路重点实验室基金资助项目(批准号:51432010204JW1401)
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在研制RTD经验的基础上设计并研制成功栅型GaAs基共振隧穿晶体管(GRTT).文中对该器件的材料结构设计、器件结构设计、光刻版图设计、器件制作、参数测量与分析等进行了系统的描述.所研制出的GRTT最大PVCR为46,最大跨导为8mS,为进一步改善器件性能和参数奠定了基础.
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