【摘 要】
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单晶蓝宝石具有高的机械和光学性能,已被广泛应用于光电子、通讯、国防等领域.以提高加工后单晶蓝宝石表面质量和缩短加工时间为最终目标,采用化学机械抛光的方法抛光蓝宝石,
【机 构】
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沈阳工业大学机械学院,一汽大众汽车有限公司
【基金项目】
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国家自然科学基金项目(51305278);中国博士后基金面上项目(2014M551124);教育部博士点基金(20132102120006)
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单晶蓝宝石具有高的机械和光学性能,已被广泛应用于光电子、通讯、国防等领域.以提高加工后单晶蓝宝石表面质量和缩短加工时间为最终目标,采用化学机械抛光的方法抛光蓝宝石,得到了一种可行有效的抛光单晶蓝宝石的加工工艺路线.试验结果表明,采用6μm金刚石磨料粗抛蓝宝石晶片1.5 h,表面粗糙度值由220.05 nm快速降到7.88 nm;然后采用3μm金刚石磨料精抛蓝宝石晶片3 h,可以获得Ra约为2.82 nm(测量区域700μm×530μm)的表面粗糙度值.此抛光工艺能满足蓝宝石衬底高效、低损伤的抛光
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