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金刚石薄膜研究进展述评
金刚石薄膜研究进展述评
来源 :激光与红外 | 被引量 : 0次 | 上传用户:DAVIDIBM
【摘 要】
:
本文综述了金刚石薄膜(DTF)研究的最新进展,着重分析了金刚石薄膜的制备方法、成膜机理和各种性能表征技术。最后将金刚石薄膜和类金刚石薄膜进行了简单比较。更多还原
【作 者】
:
薛松生
范正修
【机 构】
:
中科院上海光机所,中科院上海光机所
【出 处】
:
激光与红外
【发表日期】
:
1989年6期
【关键词】
:
金刚石薄膜
人造
工艺
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本文综述了金刚石薄膜(DTF)研究的最新进展,着重分析了金刚石薄膜的制备方法、成膜机理和各种性能表征技术。最后将金刚石薄膜和类金刚石薄膜进行了简单比较。更多还原
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