金刚石薄膜研究进展述评

来源 :激光与红外 | 被引量 : 0次 | 上传用户：DAVIDIBM

【摘要】

：

本文综述了金刚石薄膜(DTF)研究的最新进展,着重分析了金刚石薄膜的制备方法、成膜机理和各种性能表征技术。最后将金刚石薄膜和类金刚石薄膜进行了简单比较。更多还原

【作者】

：

薛松生范正修

【机构】

：

中科院上海光机所,中科院上海光机所

【出处】

：

激光与红外

【发表日期】

：

1989年6期

【关键词】

：

金刚石薄膜人造工艺

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