【摘 要】
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用带有反应溅射装置的走带系统在立方织构的Ni-5%W衬底上连续制备了长10cm的CeO2隔离层.为避免金属衬底氧化,以H2O作为反应气体.论文主要研究了衬底温度、走带速率对CeO2隔离
【机 构】
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北京有色金属研究总院超导材料研究中心
【基金项目】
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国家973计划（项目编号：2006CB601005）和863计划（项目编号：2006AA032205）资助的课题.
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用带有反应溅射装置的走带系统在立方织构的Ni-5%W衬底上连续制备了长10cm的CeO2隔离层.为避免金属衬底氧化,以H2O作为反应气体.论文主要研究了衬底温度、走带速率对CeO2隔离层外延生长的影响.用X射线θ~2θ扫描,φ扫描对薄膜的取向和织构进行表征.结果显示在温度650℃,走带速度2.5mm/s的条件下,连续制备的CeO2隔离层有效地继承并改善了基底的织构,平均平面内φ扫描半高宽为6.18°,扫描电镜（SEM）观察表明薄膜表面致密,且无裂纹生成.
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