质子对BaTiO3薄膜辐照损伤的计算机模拟

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本文先应用分子动力学模拟BaTiO3体系在初级击出原子(primary knock-on atom,PKA)轰击下缺陷产生和复合的动力学过程,模拟结果表明:PKA的方向和能量对缺陷数目有重要影响,并计算了Ba,O和Ti原子的平均位移阈能分别为69 eV,51 eV和123 eV,远大于SRIM程序默认的位移阈能25 eV.然后应用蒙特卡罗软件包SRIM,模拟质子在BaTiO3薄膜中的能量损失过程,比较位移阈能对模拟结果的影响,分析质子能量和入射角度对空位数量以及分布的影响.结果表明空位数量随着质子能量增加而增加,增加的速率随能量的增加是降低的:当入射角度大于60°,空位数量随入射角增大而明显减少.
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