荫罩式平板探测器的探测性能与优化

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荫罩式平板探测器是在等离子体显示器的基础上发展的一种新型气体探测器。该探测器可以继承等离子体的制作工艺,具有结构简单,制造成本低,易于实现大面积探测等优点。本文主要通过模拟荫罩式平板探测器内的电子倍增过程,研究了这种气体探测器的探测性能。从荫罩结构、电极宽度和荫罩高度入手,对探测器的结构进行优化。结果表明:将荫罩拓展到介质层对增益影响不大,适度调整荫罩高度,减少阴极宽度是改善平板探测器的探测特性的有效途径。在单元采用直孔荫罩结构,阴极宽度为120μm,单元宽600μm,荫罩高300μm时,阳极施加600 V电压,有效增益和实际增益分别为60和342。 Shadow mask flat panel detector is a plasma display based on the development of a new type of gas detector. The detector can inherit the plasma production process, has the advantages of simple structure, low manufacturing cost and easy realization of large-area detection. In this paper, the detection performance of this gas detector is studied by simulating the electron multiplication process in the shadow mask detector. From the mask structure, electrode width and shadow mask height to start, the structure of the detector is optimized. The results show that extending the shadow mask to the dielectric layer has little effect on the gain. Properly adjusting the shadow mask height and decreasing the cathode width are effective ways to improve the detection characteristics of the flat panel detector. When the unit adopts a straight-hole shadow mask structure, with a cathode width of 120 μm, a cell width of 600 μm and a shadow mask height of 300 μm, a voltage of 600 V is applied to the anode. The effective gain and the actual gain are 60 and 342, respectively.
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