HEMT超高速IC的研究开发现状和展望

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本文评述HEMTIC超高速性能的优势地位;HEMTLSI的关键工艺技术;HEMTLSI的研究开发实例及其性能展望. This article reviews the superiority of HEMTIC’s ultrahigh speed performance, the key process technology of HEMTLSI, the research and development of HEMTLSI and its performance prospect.
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