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采用垂直扫描系统是离子注入机最常用的扫描方式之一,着重阐述了一种大行程垂直扫描系统的系统构成、设计思路和实现方法。经过实际使用证明,该系统提高了离子注入机机械扫描的可靠性和稳定性。
离子注入机大行程垂直扫描系统的研制
【摘 要】
：
采用垂直扫描系统是离子注入机最常用的扫描方式之一,着重阐述了一种大行程垂直扫描系统的系统构成、设计思路和实现方法。经过实际使用证明,该系统提高了离子注入机机械扫描
【机 构】
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中国电子科技集团公司第四十八研究所,中国电子科技集团公司第四十八研究所长沙
【出 处】
：
微细加工技术
【发表日期】
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2008年1期
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