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半导体制造是极其精准的工艺。随着关键尺寸不断缩小,设备正面临着严峻挑战,即使很小的工艺偏差也可能导致良率降低。因此,芯片制造商必须对最关键的工艺步骤进行测量和监控,从而避免进一步处理存在缺陷的产品批次,并在更多产品批次被误处理之前,让设备重新符合规范。
晶圆称重，简化半导体工艺的测量
【摘 要】
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半导体制造是极其精准的工艺。随着关键尺寸不断缩小,设备正面临着严峻挑战,即使很小的工艺偏差也可能导致良率降低。因此,芯片制造商必须对最关键的工艺步骤进行测量和监控,
【机 构】
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泛林集团
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2019年5期
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