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用基于密度泛函理论的全势线性缀加平面波方法和模拟缺陷结构的超原胞的方法，通过计算比较ZnO、Zn15Y1O16Zn16O15、Zn15O16和Zn14Y1O16五个体系的自旋极化电子态密度，分析了O空位和Zn空位两种点缺陷对Y掺杂ZnO薄膜磁性的贡献，计算结果表明，氧化锌和钇掺杂氧化锌薄膜的磁性都来源于Zn空位周围被极化的O原子。