光调制相位光栅

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光栅技术的发展在取得广泛应用之际,还存在以下一些问题: 1.系统的信号传递多数为直流形式。直流系统的信号飘移,稳定性,抗干扰能力差。光栅标尺宏观制造不均匀会作为虚假位移信息合并到测量信号中。 2.光能量的波动及光源辐射热对光栅副的影响。 3.标尺光栅和指示光栅之间的测 The development of grating technology has been widely used in the occasion, there are still some of the following problems: 1. The majority of signal transmission system for the DC form. DC system signal drift, stability, anti-interference ability. Non-uniform macroscopic manufacturing of the grating ruler is incorporated as false displacement information into the measurement signal. 2. Fluctuation of light energy and the influence of radiant heat of the light on the grating. 3. Measurement between scale and index grating
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