【摘 要】
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采用基片曲率法设计和制作了一种测量薄膜应力的装置,它具有简单、无损伤、快速、易于操作、精度高的优点.使用该装置测量了射频磁控溅射镀制的Cu单层膜和Ag/Cu多层膜的应力,
【机 构】
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华中科技大学模具技术国家重点实验室
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采用基片曲率法设计和制作了一种测量薄膜应力的装置,它具有简单、无损伤、快速、易于操作、精度高的优点.使用该装置测量了射频磁控溅射镀制的Cu单层膜和Ag/Cu多层膜的应力,结果表明薄膜残余应力是均匀的,但随沉积条件不同而不同.Cu单层膜和Ag/Cu多层膜处于压应力状态,外加-200 V偏压时,Ag/Cu多层膜则转变为很小的拉应力状态.XRD表明Ag/Cu多层膜已结晶,呈现Ag(111)/Cu(111)择优取向.
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