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采用射频磁控溅射法制备了纳米TiO2薄膜，并应用显微拉曼光谱和原子力显微镜对薄膜进行了检测。通过拉曼光谱研究，一方面有力地揭示出TiO2薄膜的晶体结构，另一方面对薄膜的生长方式提供了线索。
射频磁控溅射法制备TiO2薄膜的拉曼光谱
【摘 要】
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采用射频磁控溅射法制备了纳米TiO2薄膜，并应用显微拉曼光谱和原子力显微镜对薄膜进行了检测。通过拉曼光谱研究，一方面有力地揭示出TiO2薄膜的晶体结构，另一方面对薄膜的生长方
【机 构】
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五邑大学数理系,暨南大学物理系
【出 处】
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材料导报
【发表日期】
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2006年F05期
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