【摘 要】
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报道了在苯甲酸中制作质子交换ＬＩＴａＯ３光波导的方法和波导的退火特性，给出了退火前后波导层中折射率的分布，计算了波导层的表面折射率增量和扩散系数，结果表明波导层表面折射率增量和退
【机 构】
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山东大学晶体材料研究所，南开大学物理系
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报道了在苯甲酸中制作质子交换ＬＩＴａＯ３光波导的方法和波导的退火特性，给出了退火前后波导层中折射率的分布，计算了波导层的表面折射率增量和扩散系数，结果表明波导层表面折射率增量和退火时间与交换时间的比值有关。
The method of fabricating proton exchange LITaO3 optical waveguide and the annealing characteristics of the waveguide in benzoic acid are reported. The refractive index distribution in the waveguide layer before and after annealing is given. The surface refractive index increment and diffusion coefficient of the waveguide layer are calculated. The results show that the waveguide The refractive index increase of the layer surface and the ratio of the annealing time to the exchange time are related.
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