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金刚石是集多种优越的物理、化学、光学和热学性能于一身的材料极品。它不但是自然界已知材料中硬度最大、摩擦因数最小、导热性能最好的材料，而且具有优良的电绝缘性、较宽的透光波段、优秀的半导体特性和化学惰性，被视为21世纪最有发展前途的工程材料，具有广泛的应用前景和巨大的市场潜力。
利用化学和机械协同作用的CVD金刚石抛光机理与技术
【摘 要】
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金刚石是集多种优越的物理、化学、光学和热学性能于一身的材料极品。它不但是自然界已知材料中硬度最大、摩擦因数最小、导热性能最好的材料，而且具有优良的电绝缘性、较宽的
【机 构】
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大连理工大学
【出 处】
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机械工程学报
【发表日期】
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2014年10期
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