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INTERFACIAL REACTIONS OF METAL FILMS WITH AlN SUBSTRATE
【摘 要】
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ＩＮＴＥＲＦＡＣＩＡＬＲＥＡＣＴＩＯＮＳＯＦＭＥＴＡＬＦＩＬＭＳＷＩＴＨＡｌＮＳＵＢＳＴＲＡＴＥＨｅＸｉａｎｇｊｕｎ；ＴａｏＫｕｎ；ＦａｎＹｕｄｉａｎ（ＤｅｐａｒｔｍｅｎｔｏｆＭａｔｅｒｉａｌｓＳｃｉｅｎｃｅａｎｄＥｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ，Ｔｓｉｎｇｈ...
【出 处】
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Transactions of Nonferrous Metals Society of China
【发表日期】
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1996年2期
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