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介绍了微波炉用高压硅堆的结构设计，工艺及主要电参数的技术指标。
微波炉用高压硅堆的设计与工艺
【摘 要】
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介绍了微波炉用高压硅堆的结构设计，工艺及主要电参数的技术指标。
【机 构】
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天津市中环半导体公司天津300111
【出 处】
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半导体技术
【发表日期】
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1993年5期
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