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反应沉积法制备c轴取向ZnO薄膜及表征
反应沉积法制备c轴取向ZnO薄膜及表征
来源 :真空科学与技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:signet886
【摘 要】
:
以二水合醋酸Zn为原料,采用反应沉积方法在非晶玻璃衬底上制备出了高度c轴取向、结晶良好的ZnO薄膜.研究了不同衬底温度和Zn源温度对ZnO薄膜性质的影响,探讨了不同衬底温度和
【作 者】
:
刘坤
季振国
杨成兴
芮祥新
王龙成
叶志镇
【机 构】
:
浙江大学硅材料国家重点实验室
【出 处】
:
真空科学与技术
【发表日期】
:
2002年6期
【关键词】
:
反应沉积法
制备
C轴取向
ZNO薄膜
表征
X射线衍射
紫外辐射光吸收
氧化锌
半导体
ZnO thin films
Reactive deposition
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以二水合醋酸Zn为原料,采用反应沉积方法在非晶玻璃衬底上制备出了高度c轴取向、结晶良好的ZnO薄膜.研究了不同衬底温度和Zn源温度对ZnO薄膜性质的影响,探讨了不同衬底温度和Zn源温度下生长ZnO薄膜的最佳参数.本文还讨论了该方法制备ZnO薄膜的沉积机制及优化条件下样品的透光特性.
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