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研究了晶格与InP匹配的InGaAsP超晶格材料的热稳定性,实验结果表明在600℃以上的热退火下会产生量子阱混合,采用1.064μm连续输出的Nd:YAG 激光器对超晶格外延片进行了聚集辐照,室温光荧光谱得到了184meV的蓝移,说明激光辐照与热退火一样会产生量子阱混合效应,光荧光谱的双峰位表明运用激光处理量子阱外延惩具有一定的空间选择性,衬底预加热和激光束的聚焦可以在不减弱处理效果的情况下有效地