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TiO2具有高的折射率、低的吸收系数等特点，镀膜时真空腔体温度与离子源功率等因素对TiO2薄膜折射率分布规律有很大影响，本文用电子束蒸发法制备TiO2薄膜，并系统的探讨了蒸镀温度、离子源参数两个工艺参数对TiO2薄膜折射率波动方面的影响，得出一组蒸镀工艺参数，使TiO2折射率最高达到2．57。
单层TiO2薄膜折射率研究
【摘 要】
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TiO2具有高的折射率、低的吸收系数等特点，镀膜时真空腔体温度与离子源功率等因素对TiO2薄膜折射率分布规律有很大影响，本文用电子束蒸发法制备TiO2薄膜，并系统的探讨了蒸镀温度
【机 构】
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北京工业大学激光工程研究院;瑞德兴阳新能源技术有限公司
【出 处】
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农家科技（下旬刊）
【发表日期】
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2015年3期
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