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LED探针台使用面阵相机对晶圆上的管芯图像数据采集时,两屏之间存在重叠区域,造成大量重复图像数据[1]。为了消除重复的采集数据以及对处理后的数据进行排序,对两种数据处理方法进行比较,经过大量的实验证明,得出最优算法。
LED探针台重叠区域的图像处理
【摘 要】
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LED探针台使用面阵相机对晶圆上的管芯图像数据采集时,两屏之间存在重叠区域,造成大量重复图像数据[1]。为了消除重复的采集数据以及对处理后的数据进行排序,对两种数据处理方法进行比较,经过大量的实验证明,得出最优算法。
【机 构】
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中国电子科技集团第四十五研究所
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2011年05期
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