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本文叙述了曝光照明系统的均匀照明原理及实现方法，并提出用计算模拟的方法研究曝光系统的光照分布情况，编制了相应的计算模拟程序。作为实例，给出了作者设计的两个典型的曝光系统光照分布的计算模拟结果。
曝光均匀照明系统光照均匀性研究
【摘 要】
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本文叙述了曝光照明系统的均匀照明原理及实现方法，并提出用计算模拟的方法研究曝光系统的光照分布情况，编制了相应的计算模拟程序。作为实例，给出了作者设计的两个典型的曝光系
【机 构】
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中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术实验室
【出 处】
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微细加工技术
【发表日期】
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1996年01期
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