无定形硅的N型掺杂与P型掺杂

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本文描述了a—si的掺杂过程,并成功地获得了N型a—si和P—型a—si膜,它们的电阻率分别达到1.1×10~2Ω—cm和5.9×10~2Ω—cm。测得了暗电导σ_D与r(r为磷掺杂或硼掺杂的百分数)的关系;σ_D与衬底温度T_S的关系;以及它们的电导激活能。对于N型a—si,E_C-E_F≈0.17ev;对于P型a—si,得到了两个激活能,分别是0.24ev和0.13ev。另外,对掺杂a—si也进行了红外吸收和透过率测量。并对结果作了初步分析。 In this paper, the a-Si doping process is described and the N-type a-Si and P-type a-Si films are successfully obtained. Their resistivities reach 1.1 × 10 ~ 2Ω-cm and 5.9 × 10 ~ 2Ω- cm. The relationship between the dark conductance σ_D and r (r is the percentage of phosphorus or boron doping) was measured; the relationship of σ_D to the substrate temperature T_S; and their conductance activation energies. For N-type a-Si, E_C-E_F≈0.17ev; for P-type a-si, two activation energies were obtained, 0.24ev and 0.13ev, respectively. In addition, infrared absorption and transmittance measurements were also performed on doped a-Si. And made a preliminary analysis of the results.
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