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文章以光刻原理为引子,介绍光刻设备的系统结构,解读光刻机行业的发展概况,重点介绍光刻机装备国产化的发展之路,最后,文章提出中国半导体装备业国产化的顶层设计框架。
全球光刻机发展概况以及光刻机装备国产化
【摘 要】
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文章以光刻原理为引子,介绍光刻设备的系统结构,解读光刻机行业的发展概况,重点介绍光刻机装备国产化的发展之路,最后,文章提出中国半导体装备业国产化的顶层设计框架。
【机 构】
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上海工程技术大学材料工程学院
【出 处】
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无线互联科技
【发表日期】
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2018年19期
【基金项目】
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项目名称:上海工程技术大学《电子封装技术专业建设》项目;项目编号:z201705001
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