【摘 要】
:
利用纳米测量机(NMM)和原子力显微镜(AFM)实现了高精度的台阶高度评价,该系统的测量范围可以达到25 mm × 25 am×5 mm.文中描述了NMM和AFM的工作原理,说明了NMM的高精度定位
【机 构】
:
天津大学,精密测试技术及仪器国家重点实验室,天津,300072伊尔梅瑙工业大学过程测量与传感技术研究所,伊尔梅瑙D-98693,德国;
论文部分内容阅读
利用纳米测量机(NMM)和原子力显微镜(AFM)实现了高精度的台阶高度评价,该系统的测量范围可以达到25 mm × 25 am×5 mm.文中描述了NMM和AFM的工作原理,说明了NMM的高精度定位性能,系统利用NMM实现x、y方向的扫描,AFM测头只是作为零点传感器,通过将AFM的悬臂梁反馈控制信号引人到NMM的数字信号控制器中,NMM实现在:方向的辅助测量,这种测量模式减小了AFM的PZT扫描器固有特性对测量的影响.根据ISO 5436-1:2000的评价方法对经过标定的台阶高度进行评价,14次测量的标准偏差为0.52 nm.
其他文献
把握运力节奏,保持集装箱市场稳中有升rn4月23日,上交所中国出口集装箱综合运价指数报收1115点,较上月下降O.7%,同比上涨36%.rn尽管希腊主权债务危机冲击全球资本市场,但全球
该文从挂篮荷载计算、施工流程、支座及临时固结施工、挂篮安装及试验、合拢段施工、模板制作安装、钢筋安装、混凝土的浇筑及养生、测量监控等方面人手,介绍了S226海滨大桥
介绍了Q/GDW 482-2010 《绝缘电阻表端电压测量电压表检定规程》的制定背景、制定原则、主要内容以及执行检定规程中应注意的几个方面,该检定规程是国家电网公司新颁布的企业
该文从挂篮荷载计算、施工流程、支座及临时固结施工、挂篮安装及试验、合拢段施工、模板制作安装、钢筋安装、混凝土的浇筑及养生、测量监控等方面人手,介绍了S226海滨大桥
该文从挂篮荷载计算、施工流程、支座及临时固结施工、挂篮安装及试验、合拢段施工、模板制作安装、钢筋安装、混凝土的浇筑及养生、测量监控等方面人手,介绍了S226海滨大桥