纳米测量机相关论文
半导体、精密光学制造和微纳加工等相关领域的持续、快速发展，对微纳米尺度几何量计量提出了更高的要求。随着器件结构的微型化和复......
利用纳米测量机(NMM)和原子力显微镜(AFM)实现了高精度的台阶高度评价,该系统的测量范围可以达到25 mm×25 mm×5 mm。文中描述了N......
为了实现纳米三坐标测量机(NMM)中大范围高精度的位移测量,建立了一种纳米精度的实用型外差干涉仪,对干涉仪的光学结构进行分......
本文所研究的纳米测量机主要由纳米微位移运动机构和纳米测量控制系统两部分组成，其中纳米微位移运动机构包括纳米级步距压电微动台......
利用纳米测量机(NMM)和原子力显微镜(AFM)实现了高精度的台阶高度评价,该系统的测量范围可以达到25 mm × 25 am×5 mm.文中描述了......
利用集成聚焦式测头的纳米测量机实现了高精度的台阶高度标准评价,该系统的测量范围可以达到25mm×25mm×5mm。描述了纳米......
镀膜在国民经济生活中得到广泛应用。影响镀膜性能的一个主要参数是膜层在整个基片上的厚度均匀性。利用挡板在基片上多个区域沉积......
为了提高MEMS微接触式测头的性能，系统开展了测头的结构设计和参数优化．根据测头结构各个部分的设计目标，提出了测头悬挂系统拓扑结构......
针对微小结构几何量测量的需求,通过集成MEMS微触觉测头和纳米测量机构建了高精度的测量系统。在验证测头性能的基础上,完成了一系......
为提高纳米坐标测量机的测量效率,降低因测头切换频繁引起的设备故障率,设计了一个具有测头测量信号/观察信号切换并能够实时显示......
主要介绍了基于纳米测量机的高阶梯差台阶标准样板和深沟槽深度标准样板计量测试和校准工作研究，包括在NMM上对两种标准样板进行计......
利用纳米测量机（NMM）和原子力显微镜（AFM）实现了高精度的台阶高度评价,该系统的测量范围可以达到25 mm×25 mm×5 mm。文中描......
本文介绍德国SIOS公司的微型激光干涉仪在德国Ilmenau技术大学纳米测量机(NMM)研制过程中的应用.简要介绍微型激光干涉仪的工作原......
本文主要描述激光聚焦方法在纳米计量领域的应用。利用该方法在纳米测量机平台上对各种标准台阶进行测量验证,并对测量过程中对结......
为实现微纳尺度器件三维几何形貌测量及表征,基于电容和压阻原理,开发了两种三维微接触式测头。其中电容测头测量范围4.5μm,轴向......
由于微纳米几何量计量很难以三维方式高精度地测量较大尺寸的器件,本文基于非硅MEMS工艺,开发了一种可用于微纳米尺度三维尺寸测量......
利用纳米测量机(NMM)和原子力显微镜(AFM)实现了大范围的计量型AFM,测量范围可以达到25mm× 25 mn×5mm,分辨力为0.1 nm.......
将自主开发的基于MEMS工艺的微触觉测头与纳米坐标测量平台相结合,构建高性能的扫描测量平台,提高了微结构和器件扫描测量的精度和......
使用德国SIOS公司生产的纳米坐标测量机微动平台作为调整机构,配合自行研制的隧道电流传感器,通过外加振动源,在隧道状态下对纳米......
本文通过两种台阶高度测试方法的测试比对,佐证了白光干涉技术在微米级台阶高度测量方面精度很高。首先,介绍了白光干涉仪的测量原......
针对微小结构和器件对大范围、高精度的坐标测量方法和装置的需求,本论文研究了一种基于压阻检测原理的MEMS三维微触觉式测头,并基......
扫描探针显微镜（SPM）凭借其原子级的分辨力迅速在表面科学、材料科学、生命科学等研究领域中得到广泛的应用，但是随着科学研究和工业......
针对当前微纳米测量中存在的微结构跨尺度、高精度测量及高深宽比结构多参数表征问题,基于纳米测量机和微接触测头构建了纳米坐标......
论述了坐标测量技术的历史地位和需要解决的问题。讨论了智能三坐标测量机的工作原理和关键技术。分析了柱坐标测量机、球坐标测量......
超精密加工技术的发展对检测技术提出了更高的要求,超精密检测技术应运而生。白光扫描干涉术作为一种重要的测量方法具有非接触、......
