【摘 要】
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【正】 射频鉴别标签(radio-frequency identification)启动了下一代供应链自动化,但在仓库管理系统以外也出现了不少扩展的应用。半导体制造商在高级晶圆厂工艺过程控制中运
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【正】 射频鉴别标签(radio-frequency identification)启动了下一代供应链自动化,但在仓库管理系统以外也出现了不少扩展的应用。半导体制造商在高级晶圆厂工艺过程控制中运用了射频鉴别标签技术,由于要进行高敏感处理,必须严格限制人体与晶圆接触。例如,TI公司在DMOS-6晶圆厂中使用RFID管理90纳米工艺在300毫米晶圆上蚀刻电路系统。 DMOS-6工厂自动化主管Roy Hunter表示,RFID标签告诉半导体加工设备需要对晶圆片进
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