【摘 要】
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采用Vanderpauw提出的测量霍尔效应的方法〔1,2〕,利用低温和变温技术进行霍尔分析,已经成为研究半导体微观结构的有效方法。1979年美国凯茨利(Keithley)公司已研制成功霍尔
【机 构】
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大连工学院微电子学教研室,大连工学院微电子学教研室
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采用Vanderpauw提出的测量霍尔效应的方法〔1,2〕,利用低温和变温技术进行霍尔分析,已经成为研究半导体微观结构的有效方法。1979年美国凯茨利(Keithley)公司已研制成功霍尔效应的全自动化装置。国内由于低温等条件的限制,这项工作开展较晚。因为该类型装置涉及低温、控温、测
Using Vanderpauw’s method of measuring Hall effect [1,2], Hall effect analysis using low-temperature and variable-temperature techniques has become an effective method to study the microstructure of semiconductors. In 1979 the United States Keithley company has developed fully automated Hall effect device. Due to the domestic conditions such as low temperature, the work started later. Because this type of device involves low temperature, temperature control, measurement
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