基于昆虫毛状感触器的微型流速传感器有限元模拟分析(英文)

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给出一种基于昆虫毛状感触器的微型仿生传感器,用以测量低速气体流动.分析昆虫毛状感触器和这种微型仿生传感器的工作机理.采用ANSYS的多场耦合模型进行模拟以充分考虑到固体场与流体场的相互作用,提出有限元分析中流体模型的边界条件和尺寸选择的标准.有限元模拟证实,低速气体的流速与应变片测量的薄膜根部应力在微尺度范围内有良好线性关系.而且简单分析和初步探讨基于悬臂梁的薄膜的尺寸对于根部应变的影响. A micro-biomimetic sensor based on insect hairy sensor is proposed to measure the flow of low-speed gas.Analyzing the working mechanism of the insect hairy sensor and the micro-biomimetic sensor is simulated using the multi-field coupling model of ANSYS to fully consider To the interaction between the solid field and the fluid field, the boundary conditions and the selection criteria for the size of the fluid model in the finite element analysis are proposed. The finite element simulation confirms that the flow rate of the low-velocity gas and the stress at the root of the film measured by the strain gage are good in the microscale Linear relationship.And simple analysis and preliminary study of the cantilever-based film size on the root strain.
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