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铁电材料在微电子技术、光电子技术和集成光学等多个领域中具有极为重要的应用价值.本文简要介绍了铁电材料及其在MEMS器件方面的应用情况.
MEMS器件中的铁电材料
【摘 要】
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铁电材料在微电子技术、光电子技术和集成光学等多个领域中具有极为重要的应用价值.本文简要介绍了铁电材料及其在MEMS器件方面的应用情况.
【机 构】
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华中科技大学电子科学与技术系,武汉理工大学材料科学与工程学院
【出 处】
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微纳电子技术
【发表日期】
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2004年3期
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